Gerätetechnik

DualBeam FEI Scios

• REM-FIB Gerät für 3-dim. Untersuchungen
• EDAX-Analytik mit EDX, WDX und EBSD für chemische Analysen und kristallographische Untersuchungen
• in-situ Zug-Druckprüfung bis 5 kN
• in-situ Heiztisch bis 1000 °C

Rasterelektronenmikroskop FEI XL30

• FEG-Kathoden REM
• EDAX-Analytik mit EDX und EBSD für chemische Analysen und kristallographische Untersuchungen

Focused Ion Beam FEI Strata

• Ga-Ionenstrahlmikroskop zur Anfertigung von cross section und zur TEM-Lamellenpräparation

Rasterelektronenmikroskop Zeiss EVO 15

• Rasterelektronenmikroskop mit EDX zur Materialcharakterisierung